border=0

De fysike grûnslach fan de oprjochting fan mikro-en nano-elektro-mechanyske systemen (MEMS)

<== foarige artikel | Folgjende artikel ==>

Op it stuit wurdt MEMS-technology al brûkt foar it meitsjen fan ferskate mikrokrêften. Dus, MEMS - oszillators yn inkele applikaasjes ferfange quartz oscillators. MEMS-technyken wurde brûkt om in ferskaat oan miniatensensors te meitsjen, lykas akselometers, winkelige sifers, magnetometryske sifers, barometryske sensoren en miljeu-analysers.

MEMS wurde al brûkt as passive heechfederfilters yn draadloare en seldsume kommunikaasjekampen, beweging spegelsystemen foar multimediaprojektors, mikrofoans. It tal MEMS applikaasjesgebieten groeit yn line mei merkbedragen. Hjoed wurde MEMS-apparaten hast oeral brûkt. Dit kin miniatuerde parten (hydraulyk en pneumatyske kliffen, yndrukke-ynstruminten fan 'e printer, springen foar winsteskopfederaasje), mikrotools (skalpels en pinzetten foar wurkje mei mikron-grutte objekten), mikromachines (motors, pompen, ierdgas), mikrorobots, micro sensoren en actuators, analysearjende mikro-labels (op in inkele chip), ensfh.

Yn it algemien wurdt it mikrosystem omsetten mei de yntegraasje fan in oantal ferskate techniken (MEMS, CMOS, optyske, hydraulike, ensfh.) Yn ien modul. Bygelyks, produksjetechnyske techniken foar MEMS-apparaten foar mikrofoansapplikaasjes (ynduktors, varaktors, skeakels, resonators) sizze tradisjoneel technyske cycles foar it meitsjen fan yntegreare sirkels dy't oanpast binne om dreidimensionale meganika-struktueren te meitsjen (bygelyks volumetric micromachining, mikrofoanining en saneamde LIGA-technology ). De namme fan 'e technology LIGA komt út' e Dútske ôfkoarting Roentgen Lithografie Galvanik Abformung, wat betsjut in kombinaasje fan X-ray-lithografy, elektroanisearjen en oanpasse (molding). Hjir is in dikke photoresistyske lagen oanwêzich oan X-rays (flare), folge troch galvanyske ôfsluting fan trijelidige struktueren fan heechprofyl. It essinsje fan it proses is it gebrûk fan x-rays fan 'e synchrotron om djip te krijen, mei skerpe muorren fan topologyske foto's yn in polymeren materiaal. De synchrotronstrafyndieling hat in ultra-leech beam divergeneswinkel. De boarne fan strieling is heech-enerzjyelektroniken (mei enerzjy boppe 1 GeV) mei beweging mei relativistyske snelheden. De djipte fan strieling fan de strieling rint meardere milimeter. Dit soarget foar in hege eksposysje-effisjinsje by leechkosten. It is leaud dat dizze technology it bêste ferhâlding fan 'e reprodusearre kanalbreedte oan syn lingte leveret (mei minimale dimensjes).

De wichtichste komponist fan 'e measte MEMS is de mikroaktuator (ôfbylding 1). Typysk ferwiist it apparaat enerzjy yn kontrolearre beweging. De grutte fan mikroaktuators kin in soad ferskille. It oanbod fan tapassing fan dizze apparaten is heul breed en tagelyk hieltyd groeit. Dêrtroch wurde mikroaktuators brûkt yn robotika, yn kontrôleapparaten, op it romtefjild, yn biomedicine, dosimetry, yn mjittings, yn ferneamde technology, yn 'e automobilindustry en yn' e húshâlding.

Bygelyks wurde mikroaktuators nedich om resonante sensories te kontrolearjen (se meitsje in resonantfrekwinsje oan har te ferwiderjen en te fertsjinjen), te stjoeren fan ynstruminten yn mikroschirurgie. It kin ek ferskate mikromotoren wêze, dy't brûkt wurde om mikrodelieds, mikrofoans en mikroklips te kontrolearjen. In mikroaktuator kin sels in mikroelektrod-apparaat wêze foar it stimulearjen fan muscle tissue yn neurologyske prosthesjes.

1.1 - In microaktuator yn MEMS (ôfbylding grutter as 5000 kear)

Alle aktivearjende metoaden (beweging, deformaasje, oandriuwing) kinne yn soksoarte apparaten as folgjend gearfette wurde:

· Electrostatic,

Magnetysk

Piezoelektrike,

· Hydraulyk,

· Heat.

By it beoardieljen fan it gebrûk fan in metoade wurde de wetten fan 'e proportionale reduksje fan grutte foarkomt. De meast be>

Magnetyske mikroaktuators hawwe meast in relatyf grutte elektryske stream, ek op in mikroskopysk nivo. By it brûken fan electrostatyske aktivearjenmetoaden is it resultaat fan it útfalsignale troch relatyf ienheid fan dimensje better as mei magnetyske metoaden. Mei oare wurden, op deselde grutte, produkt it elektrostatike apparaat in wat bettere útfieringssignaal. Thermyske mikroaktuators brûke ek relatyf in protte elektryske enerzjy; har haadûnte is dat de heule generaasje te ûntbûn is.

Sokke kritearia lykas lineariteit, rjochting, rjochting, werhelling, resolúsje, hysteresje, threshold-wearde, spiel, lûd, skift, tragtekapaziteit, amplitude, sensibiliteit, snelheid, transiente antwurden, skalberens, enerzjyfeiligens wurde brûkt om evaluaasjes fan microaktuators te evaluearjen.

<== foarige artikel | Folgjende artikel ==>





Sjoch ek:

Modulators

SQUID op wikseljende stream

Neutronografy

Foarbylden fan 'e skepping en omfang fan mikro- en nano-sensoren

Gunn-effekt

Scannen SQUID-mikroskoop

Power spektroskopy

Subjektive beoardieling fan 'e yntinsiteit fan' e stimulus

Optyske immunosensors

Eigenskippen fan 'e fysika fan netlineare prosessen yn komplekse dynamyske systeemen

Principles of operation of the SSM-77

Return to Table of Contents: Physical Phenomena

Views: 1949

11.45.9.61 © bibinar.info is net de auteur fan de materialen dy't ynbrocht binne. Mar leveret de mooglikheid fan fergees gebrûk. Is der in fertsjinwurdiging fan 'e autoriteit? Skriuw ús | Feedback .