border=0

Foarbylden fan apparaten op basis fan MEMS-yndustriële optreden

<== foarige artikel |

Ofbylding A.1 - Gyroscope, accelerometer

Figur B.1 - Absolute druk transducer

Tabel B.1. Spesifikaasjes absolute druk transducer

Meitsere drukromte, MPa 0,1

Power supply, V

5 ± 0,1

Nominale output, mV

40 ... 130

Netlineariteit fan it útfieringssignal,%

<0.2

Brûk ûnbalâns, mV

<± 3 Temperatuerrige, ° C

-50 ... + 100

Temperatuerkoeffizient fan sensibiliteit,% / 10 ° С

minder as 0.15

Temperature drift "nul",% / 10 ° C

minder dan 0,2

Ofmjittingen, mm 20 x 5 x 5

Figur B.2 - Piezoresistive ynertiaal
mikrosysteem foar it mjitten fan lytse besparingen

Tabel B.2. Technyske eigenskippen fan in piezoresistyf inertiaal mikrosystem foar it mjitten fan lytse besparingen.

Accelerationmeitsje, g

2-10

Mikrosystemkristallgrutte, mm

8.0x2.5x0.44

Gewicht fan silisium inertiale mass, mg

2

De karakteristike ôfmjittingen fan silisiumbalken, mikrons

600x20x10

Sensibiliteit oan leverenspannings 9 V, mV / g

1.9

Resonânsjefrekwinsje fan mikrosystem, Hz

1200

Betriebsfrequenzbereich, Hz

fan 0 oant 400

Ofbylding B.3 - Thermoanemometrysk mikrosystem foar it kontrolearjen fan 'e steat fan' e gasmiddel (it pylk nei links lynt de technologyske lofthaven oan, en de pylk op 'e rjochte jout gefoelige resistiele eleminten op dûnte hong dielektrike brêgen sa'n 1 micron dik).

Tabel B.3. Technyske skaaimerken fan it thermo-anemometryske mikrosysteem foar it kontrolearjen fan 'e steat fan' e gasmiddel.

Power supply

5V, 9V

Output signal

0 - 100 mV

Response tiid

gjin mear as 1 s

It oanbod fan kosten te studearjen

fan 0,001 oant 60 l / min

Power consumption

Net mear as 30 kW mei 5 V-spoarferfang

Relative sensibiliteit

Net minder dan 6 mV * mW -1 (l / min) -1

Gewicht

<2 g

Ofmjitting oer elkoar

35 x 15 x 10 mm

<== foarige artikel |





Sjoch ek:

SCHEME fan eksperimint

Haadstik 5. Effekten fan 'e ynteraksje fan it elektromagnetysk fjild mei mate

Elektron-optyske apparaten

Stasjonale en net-stasjonele Josephson-effekten en harren tapassing yn mate-technology

Eigenskippen fan supraleurs

Apparat en prinsipe fan operaasje fan STM

Elektronen en ion stimulearre prosessen op fêste oerflakken

Somatoviscale sensory systeem. Somatoviscal systeem.

Sensory systems. Sense-organen. Physiology fan 'e sintugen. Funksjes fan sintoryske systemen. Senseare wittenskip. Stappen fan sensoryse wittenskip. Sensory systems

Optyske immunosensors

Return to Table of Contents: Physical Phenomena

Views: 1893

11.45.9.61 © bibinar.info is net de auteur fan de materialen dy't ynbrocht binne. Mar leveret de mooglikheid fan fergees gebrûk. Is der in fertsjinwurdiging fan 'e autoriteit? Skriuw ús | Feedback .